40001百老汇官方网 - 40001百老汇官网在线主页

    • i-Stock Semi Foup stocker

    FOUP（Front Opening Unified Pod）是半导体制造厂商中常用的晶圆存储载具，并将其从一个制造工站运输到另一个制造工站。半导体foup智能仓储则是通过高效智能的存储设备对FOUP进行存储管理，通过引入物联网、大数据、云计算等新一代信息技术，实现对FOUP的温度、湿度、洁净度等环境参数的准确控制，同时提高运输效率和准确度，减少业务流程中的错误率和损失。
    技术参数

    项目

    参数

    仓储型号

    i-Stock Semi Foup stocker

    外型尺寸

    L5100*W2400*H2700(可定制)

    物料种类

    FOUP、FOSB、SMIF Pod、Mask、Cassette、Wafer Stack Box

    wafer规格

    6寸/8寸/12寸

    存储容量

    320盒(6寸Wafer Stack Box)

    手臂负载

    12-25kg (可定制)

    定位精度

    0.3-0.5mm

    存/取时间

    20~30s/盒

    净化等级

    class10；100；1000

    震动

    ≤0.5G

    噪音

    ≤75DB

    UPS

    断电后半小时供工控机上传资讯，操作系统正常关闭

    通讯方式

    SECS/GEM (E82/E88)

    静电防护

    防静电处理材质储位，表面阻值106-1011Ω
    设备外部结构接地，设备电源接地 < 1Ω

    温度湿度管控范围

    控制范围:温度20-25°C，相对湿度10~45%RH
    支持加充氨气

    EFEM

    可对接AMR/OHT

    产品优势

    • 高智能

      一物一码一储位”实现无人化、
      准确化、智能化管理

    • 高效率

      双机械手协同作业，
      更高效率出入库拣�。锪献远看嫒�

    • 高精度

      提升物料拣选准确率和准确度，
      降低劳动强度与晶圆人为损耗

    • 洁净度

      搭载FFU，符合半导体车间洁净等级要求

    • 多模式

      多种出入库对接模式，
      从容应对各场景不同物料的输送需求

    • 可视化

      定制智能看板，数据智能可视

    推荐产品

    【网站地图】【sitemap】