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AMHS

AMHS（Automated Material Handling System）是一种自动化物料处理系统，广泛应用于半导体制造等领域。AMHS 设备主要用于在生产线上自动搬运、传送半导体制造过程中所需的各类物料和工件。这些设备通常由输送机、机械臂、搬运机器人等组成，配备智能控制系统，能够实现高效、准确的物料传输，并且能够与其他设备实现无缝连接，实现整个生产流程的自动化管理。AMHS 设备的使用可以大大提高生产效率，降低人为错误的发生率，同时也提升了生产线的灵活性和稳定性，是现代半导体制造中不可或缺的重要设备之一。
技术参数

项目

参数

设备型号

AMHS/OHT

外型尺寸

L600*W450*H850mm（不含机械手臂）

物料种类

Foup/Cassette/Mask等半导体物料

充电方式

轨道滑触线以及锂电池定点充电

机械手精度

0.5~1mm

驱动方式

双向驱动，无限监控

行走速度

0.6~3.5m/s

通讯方式

SECS/GEM （E84）

视觉系统

RFI获取轨道位置


系统控制

控制硬件系统

感测系统

远端控制及车流控制统




产品优势

  • 提高生产效率

    AMHS设备能够实现自动化的物料搬运和传送，减少了人工操作时间，提高了生产效率，缩短了生产周期。

  • 降低人为错误

    自动化的AMHS系统可以减少人为错误的发生率，提高了生产线的稳定性和一致性。

  • 灵活性

    AMHS设备可以根据生产需求进行灵活调整和优化，适应不同工艺流程和生产规模的变化。

  • 提升安全性

    减少了人员接触危险物料的机会，降低了工作风险，提升了生产线的安全性。

  • 实时监控与管理

    AMHS设备配备智能控制系统，可以实时监控物料流动情况，提供数据支持，帮助管理者进行生产计划和决策。

  • 节约空间

    AMHS设备可以实现物料的垂直传送和空间的充分利用，节约了生产场地，提高了生产线的整体效率。

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