随着半导体技术的不断突破，半导体产业在我国经济中的地位日益凸显。在这个日新月异的行业中，如何提高生产效率、降低成本，成为各大企业关注的焦点。当晶圆制程愈发复杂、生产车间数量增多时，车间转换的储存区域显得尤为必要。天车（OHT）就是为了提高物料运输效率，降低人力成本和减少污染风险而存在，在很大程度上改善了跨区搬运的不便。
01天车（OHT）简介
OHT (空中走行式搬送车) 是Overhead Hoist Transfer的简称，一种能在空中轨道上行驶之自动化搬运设备，由升降装置马达驱动皮带，自动抓取设置在晶圆加载机 (LPU, Load-Port Unit) 的前开式晶圆传送盒 (FOUP , Front Open Unified Pod)，实现了晶圆在各加工区间快速稳定的搬运，且不占用洁净室地面空间，被广泛的使用在12寸半导体前端晶圆厂内的物料搬送，如制造过程中的在制品 (WIP, Work In Process)，不仅用于产线的机台 (Tool)，还用于机台和晶圆缓存器 (Buffer) 之间的传输作业。
组成部分：
天车搬运系统主要由以下几个部分组成：
a. 导轨：安装在厂房天花板上的轨道，用于吊车的移动。
b. 吊车：沿着导轨移动的起重设备，用于抓取和放置物料。
c. 载具：用于承载和保护物料（如晶圆盒）的专用容器。
d. 控制系统：负责控制吊车运动、抓取和放置物料的自动化系统。
02天车搬运系统的优势
OHT （天车）沿直线轨道的平均速度可达 5m/s（18km/h），沿曲线轨道的平均速度可达 1m/s（3.6km/h）。
与其他自动搬运系统（如自动导引车和输送带）相比，OHT具有以下优势：
a. 提高生产效率：OHT可以在短时间内将物料从一个地点移动到另一个地点，减少了物料运输所需的时间，从而提高了生产效率。
b. 减少人工干预：OHT的自动化运作减少了人员与物料的接触，降低了污染风险。
c. 节省空间：OHT安装在天花板上，不占用地面空间，提高了空间利用率。
d. 降低成本：OHT的自动化运作降低了人力成本和维护成本。
e. 提高可靠性：OHT具有较高的运行稳定性和可靠性，确保了生产过程的连续性。
03天车在我国的发展前景
新兴的国产AMHS厂商进入半导体领域需要经历较长的验证过程，随着我国产业不断发展，全国很多地区都在新建晶圆厂以满足国内不断增长的半导体需求。这些新建的晶圆厂中自动化搬运设备（AMHS）已是标配，再加上之前兴建的8-12寸存量生产线自动化改造需求，未来4年内，国内晶圆厂AMHS系统平均每年的市场需求约为30-40亿元。
目前，国产AMHS天车方案已在晶圆厂的测试线或局部线运行。相信随着时间的推移，国内厂商不断积累经验、技术创新，以及在本地化设计、制造、服务、交期短、成本低等优势的助力下，国内AMHS产业必将取得长足的发展。
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40001百老汇官方平台作为一家专业从事智慧车间整体解决方案的高科技企业。凭借多年的技术积累和行业经验，为半导体硅片厂、芯片制造厂、芯片封装厂等提供高效、准确的物料搬送解决方案。
OHT作为40001百老汇官方平台的核心产品，帮助企业提高生产效率，降低生产成本，提升产品良率。未来，40001百老汇官方平台将继续致力于技术创新，为行业的智能化发展做出更大的贡献。
图片来自：半导体综研
